工作臺

X/Y軸行程

250×150

300×200

400×300

500×400

600×500

700×600

600×800

1000×1600

Z軸行程

有效空間245mm，調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺尺寸

450×320

450×350

550×450

700×600

800×700

900×800

800×1000

1200×1800

玻璃臺尺寸

300×200

330×230

430×330

530×430

630×530

730×630

700×900

1100×1700

傳動型式

傳動型式：X/Y/Z軸精密線性導(dǎo)軌和研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅(qū)動系統(tǒng)

光學(xué)尺寸分辨率：X/Y/Z軸0.0005mm（0.5um）

測量精度：≤3um+L/200  重復(fù)精度：≤3um+L/200

X/Y/Z三軸高性能伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：日本SONY索尼 CCD 視頻放大倍數(shù)：30-230X

鏡頭：NAV高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-4.5X

可選配0.5X物鏡時，總放大倍率15-115X

可選配2X物鏡時，總放大倍率60-460X

光源系統(tǒng)

表面光源與投射光源冷光源、壽命長、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸

650*850*1650

700*850*1650

800*900*1650

900*1050*1650

1200*1500*1650

1440*1600*1650

1300*1800*1650

1750*2650*1650

儀器重量（KG）

250

330

500

720

1200

1600

2600

3600